Горизонтальные диффузионные печи для групповой термической обработки пластин FALCON 100
Применяется для производства полупроводниковых приборов и солнечных элементов. Печи для атмосферной и вакуумной обработки, LPCVD и MOCVD процессов.
| Наименование | Значение |
|---|---|
| Диапазон рабочих температур, °С | 350 - 1200 |
| Максимальный диаметр пластин, мм | 200 |
| Максимальная загрузка, шт. | 50 |
| Предельный вакуум, Па | 1 (опционально 10^-4) |
| Газовые каналы | 8 линий (опционально 16) |