Настольные вакуумные установки
групповой термической обработки пластин
серии FALCON 25
Применяются в процессах: термического отжига, осаждения химических паров (LPCVD, MOCVD) поликристаллического кремния,Si3N4, эпитаксии, низкотемпературного оксидирования (LTO), термического окисления SiO2, диффузии, процессов TEOS, POCl3, TCA, выращивания графитовых нанотрубок, осаждения молекулярных слоёв.
Настольная серия вакуумных печей FALCON представляет из себя оптимальный вариант компактных размеров и эффективной работы. Модульная конструкция позволяет устанавливать рабочие камеры друг на друга и объединять в единую систему управления и энергоснабжения.
Для выполнения определенных технологических процессов заказчика, стандартное исполнение печей можно расширить дополнительными опциями и оснасткой.
Вакуумная камера
Выполнена из кварцевой трубки, с тремя технологическими патрубками для вакуумирования, напуска газа и контактного измерения температуры. Загрузка/выгрузка пластин осуществляется в ручную через переднюю крышку камеры вмонтированную в выдвижной фланец.
Вакуумная система
Откачка производится масляным пластинчато-роторным или сухим винтовым насосом. Форвакуумный насос располагается напольно рядом с печью или в технической зоне с подключением через вакуумную магистраль. Охлаждение паров откачиваемых газов осуществляется через водяную ловушку. Заданное давление в камере поддерживается с помощью дроссельного клапана, управляемый программой. Реализована функция мягкой откачки и плавного напуска.
| Наименование | Значение |
|---|---|
| Внутренний диаметр кварцевой камеры, мм | 206 |
| Зоны нагрева, шт. | 1 (опционально 3) |
| Диапазон рабочих температур, °С | 350-800 (опционально 1150) |
| Максимальная скорость нагрева, °С/с | 20 (опционально 40) |
| Скорость охлаждения, °С/мин | 300 |
| Максимальный диаметр пластин, мм | 150 |
| Максимальная загрузка пластин, шт | 25 |
| Предельный вакуум, Па | 1 |
| Газовые каналы | 4 линии (опционально 8) |
| АСУ ТП | Выполнена на базе промышленного компьютера с HMI. Поддерживает следующие возможности: автоматический и ручной режим работы; разграничение прав доступа технолог/оператор; составление рецептов длинной не менее 60 шагов; изменение рецептов; возможность копирования рецептов на внешний носитель; запись и хранение результатов обработки партий. |
| Загрузка пластин | ручная (опционально встраивается в перчаточный бокс) |
| Класс помещения | Для размещения в чистой комнате класса 7 ISO |
| Электропитание | 380В, 50 Гц |