ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ

Термические процессы

Корпусирование, быстрый термический отжиг, диффузия, окисление…

Напыление тонких пленок

Напыление резистивных и проводящих слоев на кремниевые, ситалловые, поликоровые подложки

Плазмохимические процессы

Очистка и активация поверхности, плазмохимическое удаление фоторезиста, реактивное ионное травление…