Специальное технологическое оборудование для проведения термических процессов
Компания САВТЭК разрабатывает и производит широкий ассортимент вакуумных печей для полупроводниковой промышленности.
Настольная вакуумная установка групповой термической обработки пластин FALCON 25
Применяется для термического отжига, осаждения химических паров (LPCVD, MOCVD), поликристаллического кремния, SiO2, диффузии, процессов TEOS, POCl3, TCA, выращивание графитовых нанотрубок, осаждение молекулярных слоев.
Горизонтальные диффузионные печи для групповой термической обработки пластин FALCON 100
Применяется для производства полупроводниковых приборов и солнечных элементов. Печи для атмосферной и вакуумной обработки, LPCVD и MOCVD процессов.
Вакуумная печь быстрого термического отжига RTP (БТО)
Применяется для быстрого термического отжига (RTA – Rapid Thermal Annealing), быстрого термического окисления ( RTO – Rapid Thermal Oxidation), CVD графена и углеродных трубок, диффузии отжига контактов, после имплантационного отжига, отжига соединения проводников, нитридизации, силицидирования, сульфиризации и селенизации.