Установки групповой термической обработки пластин FALCON 5
Применяются в процессах: термического отжига, химического осаждения из газовой фазы (LPCVD, MOCVD) поликристаллического кремния,Si3N4, эпитаксии, низкотемпературного оксидирования (LTO), термического окисления SiO2, диффузии, процессов TEOS, POCl3, TCA, выращивания графитовых нанотрубок, осаждения молекулярных слоёв.
Настольная серия вакуумных печей FALCON представляет из себя оптимальный вариант компактных размеров и эффективной работы. Модульная конструкция позволяет устанавливать рабочие камеры друг на друга и объединять в единую систему управления и энергоснабжения.
Для выполнения определенных технологических процессов заказчика, стандартное исполнение печей можно расширить дополнительными опциями и оснасткой.
Используется для опытного производства для термоиспытаний и разработки технологических процессов.
Вакуумная камера
Выполнена из кварцевой трубки, с тремя технологическими патрубками для вакуумирования, напуска газа и контактного измерения температуры. Загрузка/выгрузка пластин осуществляется в ручную через переднюю крышку камеры вмонтированную в выдвижной фланец.
Вакуумная система
Откачка производится масляным пластинчато-роторным или сухим винтовым насосом. Форвакуумный насос располагается напольно рядом с печью или в технической зоне с подключением через вакуумную магистраль. Охлаждение паров откачиваемых газов осуществляется через водоохлаждаемую ловушку. Заданное давление в камере поддерживается с помощью программно управляемого дроссельного клапана. Реализована функция мягкой откачки и плавного напуска.
| Наименование | Значение |
| Диапазон рабочих температур, °С | 350-1150 |
| Количество зон нагрева, шт. | 1 |
| Максимальная загрузка, шт. | 5 |
| Диаметр обрабатываемых пластин, мм | 100, 150 или 200 |
| Предельный вакуум, Па | 1 |
| Равномерность температуры по длине рабочей зоны, °С | ±0,5 |
| Габаритные размеры не более, ДхШхВ, мм | 700х700х1900 |
