/ Горизонтальные диффузионные печи FALCON 100

Горизонтальные диффузионные печи FALCON 100

Применяется для производства полупроводниковых приборов и солнечных элементов. Печи для атмосферной и вакуумной обработки, LPCVD и MOCVD процессов.

Оставить заявку
Наименование Значение
Диапазон рабочих температур, °С 350 — 1200
Максимальный диаметр пластин, мм 200
Максимальная загрузка, шт. 50
Предельный вакуум, Па 1 (опционально 10^-4)
Газовые каналы 8 линий (опционально 16)