Горизонтальные диффузионные печи FALCON 100
Применяются для процессов высокотемпературного отжига, осаждения химических паров (LPCVD, MOCVD) поликристаллического кремния, Si₃N₄, эпитаксии, LTO, термического окисления SiO₂, диффузии, процессов POCl₃, TCA, выращивания графитовых нанотрубок, осаждения молекулярных слоёв и других процессов при атмосферном или пониженном давлении.
Установки имеют возможность ручной или автоматической загрузки кассет с обрабатываемыми пластинами диаметром 100, 150 или 200 мм. Опционально могут быть оборудованы системой подачи технологических газов, состоящей из газовых магистралей и газобаллонных шкафов UHP с системой детектирования утечек, весовым контролем, автоматической продувкой и контролем герметичности.
Рабочая камера (реактор) выполнена в виде кварцевой или карбидокремниевой трубы и размещена внутри электропечи горизонтального типа. В одной установке возможно разместить до четырех реакторов для различных технологических процессов.
Каждый реактор оснащен независимой системой нагрева с регулируемой скоростью нагрева и охлаждения. Максимальная температура до 1300 °С.
Система управления выполнена на базе промышленного логического контроллера Segnetics, и обеспечивает управление в ручном режиме (при помощи виджетов на сенсорном экране), в автоматическом или полуавтоматическом режиме (по команде оператора). Предусмотрены операционные блокировки для корректной работы установки и аварийные блокировки для защиты систем и механизмов от повреждения, а также защиты жизни и здоровья персонала.
| Наименование | Значение |
| Диапазон рабочих температур, °С | 350 — 1300 |
| Количество зон нагрева, шт. | 3-5 |
| Максимальная загрузка, шт. | 100 |
| Диаметр обрабатываемых пластин, мм | 100, 150 или 200 |
| Предельный вакуум, Па | 1 (опционально 10-4) |
| Равномерность температуры по длине рабочей зоны, °С | ±0,5 |
| Габаритные размеры не более, ДхШхВ, мм | 3353х2007х1083 |
