/ Ионные источники

Ионные источники

Устройства предназначены для генерации линейного потока ионов рабочего газа с энергией 300-2500 эВ для широкого спектра применений: ионной очистки, ионного травления, ионной полировки, ионной модификации поверхности, ассистирования при напылении.

Оставить заявку
Наименование Значение
Размер пучка, мм 200 — 800х30х5

 

Напряжение, кВ 1-3
Ток пучка, мА 100 — 1000

 

Форма пучка Полый прямоугольный
Диапазон рабочих давлений, Па 0,01 — 10
Рабочий газ Ar, H₂, O₂