Наименование | Значение |
Размер пучка, мм | 200 — 800х30х5
|
Напряжение, кВ | 1-3 |
Ток пучка, мА | 100 — 1000
|
Форма пучка | Полый прямоугольный |
Диапазон рабочих давлений, Па | 0,01 — 10 |
Рабочий газ | Ar, H₂, O₂ |
/ Ионные источники
Оставить заявку
Наименование | Значение |
Размер пучка, мм | 200 — 800х30х5
|
Напряжение, кВ | 1-3 |
Ток пучка, мА | 100 — 1000
|
Форма пучка | Полый прямоугольный |
Диапазон рабочих давлений, Па | 0,01 — 10 |
Рабочий газ | Ar, H₂, O₂ |