Вертикальные вакуумные печи групповой термической обработки предназначены для проведения термического отжига кремниевых пластин диаметром до 200 мм (до 25 штук за цикл) в условиях вакуума или контролируемой газовой среды, что обеспечивает минимальную привносимую дефектность.

Рабочая камера выполнена из нержавеющей стали с двойными водоохлаждаемыми стенками. Печь оснащена ИК-нагревателями, расположенными по периметру вакуумной камеры и системой автоматического управления, позволяющей задавать до тысячи рецептов.