Предназначен для герметизации приборов в инертной среде осушенного газа (N2) с последующей сушкой в вакуумной печи.

В перчаточный бокс интегрирована система очистки и осушки газа, что позволяет получить рабочую точку росы до –80°С и фильтрацию от механических частиц ≥ 1 мкм.

Реализована возможность установки скорости нагрева и времени выдержки изделий.

Дополнительные функции:

• возможность использования до 3 печей с разными функциями;
• оснащение оборудованием для сварки;
• возможна интеграция с установками магнетронного напыления и плазмохимического травления;
• внутренняя система хранения.