Вакуумные установки магнетронного распыления U-PVD
Серия установок SAVTECH U-PVD, разрабатывалась инженерами для работы с малыми и средними объемами загрузки, как для сегмента R&D, так и для нанесения покрытий на серийные изделия.
Модульный тип установки, позволяет дооснастить базовый комплект дополнительными технологическими модулями.
За счет стандартизации модулей и конструкции установок серии SAVTECH U-PVD нам удалось существенно снизить цену оборудования для наших клиентов.
Стандартные применения для серии установок U-PVD:
• нанесение проводящих и резистивных слоев;
• нанесения защитно-декоративных покрытий;
• нанесение антикоррозионных покрытий;
• функциональных покрытий – для придания специальных свойств поверхности деталей (износостойкости, твердости, электроизоляционных, магнитных и т.д.).
PVD метод позволяет наносить любые металлы, сплавы, оксиды, карбиды и нитриды c предварительной ионной очисткой/активацией поверхности, нагревом и ионным ассистированием в процессе напыления.
Состав установки:
- Вакуумная камера;
- Каркас;
- Система вакуумной откачки;
- Технологические узлы;
- Система подачи технологического газа;
- Система управления.
Технологические узлы:
- Магнетрон планарый, от 1 до 4 шт.(опционально);
- Ионный источник: 1 шт. (опционально);
- Нагреватель планарный, ИК/Резистивный, от 1 до 2 шт. (опционально).
Рабочая камера:
- Диаметр: 800 мм;
- Высота: 750 мм;
- Материал корпуса: нержавеющая сталь AISI 304.
Технологические параметры:
- Нагрев обрабатываемых изделий до 350°С;
- Рабочие газы: от 1 до 4 газовых линий (опционально);
- Предельное давление в камере: 10-4 Па.
Система управления
Автоматизированная система управления технологическим процессом нанесения покрытий построена на базе промышленного компьютера, включающего:
- Управляющий контроллер нижнего уровня с модулями расширения ввода-вывода;
- Промышленный компьютер верхнего уровня.
Система обеспечивает автоматический и ручной (для технолога) режим управления. Система управления, контроля и автоматики обеспечивает выполнение следующих функций:
- Ручное (для технолога) и автоматическое управление;
- Регулирование (по введенной в контроллер программе);
- Управление напуском атмосферы и/или газа;
- Управление работой вакуумного оборудования;
- Контроль вакуума в камере и в вакуумной системе;
- Контроль подачи охлаждающей воды в водяных магистралях; – световую индикацию;
- Световую и звуковую сигнализацию предаварийных и аварийных состояний систем;
- Защиту от несанкционированного доступа к параметрам и настройкам программ технологического процесса и работы установки.
| ПАРАМЕТРЫ | ЗНАЧЕНИЕ |
|---|---|
| Установленная мощность, кВт | 15 |
| Номинальная потребляемая мощность, кВт | 12 |
| Напряжение питания, В | 380 (+10-15)% |
| Максимальное потребление тока по фазам,А | 32 |
| Предельный вакуум, Па | 5^10-4 |
| Рабочий вакуум, Па | 2х10^-1 |
| Время достижения предельного вакуума (С момента включения), мин, | 60, не более |
| Максимальная температура нагрева, град. С | 400 |
| Нестабильность поддержания температуры, % | 3 |
| Количество каналов газонапуска, шт. (опционально шт.) | 2 До 6 каналов опционально |
| Скорость вращения барабана с изделиями, об/мин | 5-30 |
| Ввод вращения карусели | Одноосевой или двухосевой опционально |
| Система откачки | С маслонаполненным (опционально сухим спиральным) форвакуумным насосом и высоковакуумным турбомолекулярным насосом |
| Система управления | На базе промышленного компьютера |
| Наличие ионного источника | опционально |
| Количество магнетронов | 2 (до 4-х единиц опционально) |
| Стоимость установки | По запросу |