Вакуумные установки магнетронного распыления U-PVD

Серия установок SAVTECH U-PVD, разрабатывалась инженерами для работы с малыми и средними объемами загрузки, как для сегмента R&D, так и для нанесения покрытий на серийные изделия.

Модульный тип установки, позволяет дооснастить базовый комплект дополнительными технологическими модулями.

За счет стандартизации модулей и конструкции установок серии SAVTECH U-PVD нам удалось существенно снизить цену оборудования для наших клиентов.

Стандартные применения для серии установок U-PVD:

• нанесение проводящих и резистивных слоев;

• нанесения защитно-декоративных покрытий;

• нанесение антикоррозионных покрытий;
• функциональных покрытий – для придания специальных свойств поверхности деталей (износостойкости, твердости, электроизоляционных, магнитных и т.д.).

PVD метод позволяет наносить любые металлы, сплавы, оксиды, карбиды и нитриды c предварительной ионной очисткой/активацией поверхности, нагревом и ионным ассистированием в процессе напыления.

Состав установки:

  • Вакуумная камера;
  • Каркас;
  • Система вакуумной откачки;
  • Технологические узлы;
  • Система подачи технологического газа;
  • Система управления.

Технологические узлы:

  • Магнетрон планарый, от 1 до 4 шт.(опционально);
  • Ионный источник: 1 шт. (опционально);
  • Нагреватель планарный, ИК/Резистивный, от 1 до 2 шт. (опционально).

Рабочая камера:

  • Диаметр: 800 мм;
  • Высота: 750 мм;
  • Материал корпуса: нержавеющая сталь AISI 304.

Технологические параметры:

  • Нагрев обрабатываемых изделий до 350°С;
  • Рабочие газы:  от 1 до 4 газовых линий (опционально);
  • Предельное давление в камере: 10-4 Па.

Система управления

Автоматизированная система управления технологическим процессом нанесения покрытий построена на базе промышленного компьютера, включающего:

  • Управляющий контроллер нижнего уровня с модулями расширения ввода-вывода;
  • Промышленный компьютер верхнего уровня.

Система обеспечивает автоматический и ручной (для технолога) режим управления. Система управления, контроля и автоматики обеспечивает выполнение следующих функций:

  • Ручное (для технолога) и автоматическое управление;
  • Регулирование (по введенной в контроллер программе);
  • Управление напуском атмосферы и/или газа;
  • Управление работой вакуумного оборудования;
  • Контроль вакуума в камере и в вакуумной системе;
  • Контроль подачи охлаждающей воды в водяных магистралях; – световую индикацию;
  • Световую и звуковую сигнализацию предаварийных и аварийных состояний систем;
  • Защиту от несанкционированного доступа к параметрам и настройкам программ технологического процесса и работы установки.

ПАРАМЕТРЫЗНАЧЕНИЕ
Установленная мощность, кВт15
Номинальная потребляемая мощность, кВт12
Напряжение питания, В380 (+10-15)%
Максимальное потребление тока по фазам,А32
Предельный вакуум, Па5^10-4
Рабочий вакуум, Па2х10^-1
Время достижения предельного вакуума (С момента включения), мин, 60, не более
Максимальная температура нагрева, град. С400
Нестабильность поддержания температуры, %3
Количество каналов газонапуска, шт. (опционально шт.)2
До 6 каналов опционально
Скорость вращения барабана с изделиями, об/мин5-30
Ввод вращения каруселиОдноосевой или двухосевой опционально
Система откачкиС маслонаполненным (опционально сухим спиральным) форвакуумным насосом и высоковакуумным турбомолекулярным насосом
Система управленияНа базе промышленного компьютера
Наличие ионного источникаопционально
Количество магнетронов2 (до 4-х единиц опционально)
Стоимость установки По запросу

Мы будем рады ответить на любые ваши вопросы

Отправьте ваш запрос