Установки опрессовки изделий и проверки на герметичность серии SAVTECH LT-MS-P
Установки опрессовки, заполнения изделий газом и проверки на герметичность масс-спектрометрическим методом
Особенности и применение
Установка оборудована двумя вакуумными камерами, в одной из которых происходит опрессовка микроэлектронных изделий пробным газом, а в другой происходит испытание опресованных изделий на герметичность масс-спектрометрическим методом.
Состав
– Масс-спектрометрический течеискатель; –Насос вакуумный спиральный; –Камера опрессовки изделий; – Испытательная вакуумная камера; – Система напуска пробного газа (гелия); – Система измерения и управления;
Параметр
Значение
Остаточное давление
0,5 Па
Система управления
Автоматическая
Максимальное избыточное давление в камере опрессовки