Установки опрессовки изделий и проверки на герметичность серии SAVTECH LT-MS-P

Установки опрессовки, заполнения изделий газом и проверки на герметичность масс-спектрометрическим методом

Особенности и применение

Установка оборудована двумя вакуумными камерами, в одной из которых происходит опрессовка микроэлектронных изделий пробным газом, а в другой происходит испытание опресованных изделий на герметичность масс-спектрометрическим методом. 

Состав

–  Масс-спектрометрический течеискатель;
  Насос вакуумный спиральный;
  Камера опрессовки изделий;
–  Испытательная вакуумная камера;
–  Система напуска пробного газа (гелия);
–  Система измерения и управления;

ПараметрЗначение
Остаточное давление0,5 Па
Система управленияАвтоматическая
Максимальное избыточное давление в камере опрессовки0,2 МПа
Система вакуумной откачкиСухой спиральный насос