Установка предназначена для осаждения слоёв поликристаллического кремния, оксидов кремния и нитридов кремния. Осаждения слоёв осуществляется в трех горизонтальных кварцевых реакторах с электропечами резистивного нагрева при подаче рабочих газов. Три печи могут работать независимо друг от друга для проведения различных технологических процессов.
Технические характеристики:
- Количество ректоров: 3 шт.
- Внутренний диаметр реактора: 130 мм
- Длина рабочей зоны каждого реактора: 300 мм
- Наличие в реакторе трех зон с градиентом до 50 °С между зонами.
- Количество термопреобразователей в каждой зоне нагрева: 2 шт.
- Диаметр обрабатываемых пластин: 100 мм
- Количество одновременно обрабатываемых пластин Ø100 мм: 62 шт.
- Система загрузки подложек: ручная
- Максимальная температура: 1200 °С
- Нестабильность температуры по рабочей зоне: ±2,5°С
- Разброс температуры по толщине слоя на пластине: не более 3%
- Скорость нагрева: 10°С/мин
- Предельное остаточное давление в реакторе: 1 Па
- Габариты (ДхШхВ): 2000х900х2175 мм
- Масса: 800 кг
- Управление: Автоматическое, ручное с защитными блокировками
Установка предназначена для осаждения слоёв поликристаллического кремния, оксидов кремния и нитридов кремния. Осаждения слоёв осуществляется в трех горизонтальных кварцевых реакторах с электропечами резистивного нагрева при подаче рабочих газов. Три печи могут работать независимо друг от друга для проведения различных технологических процессов.
