Установка используется для опытного производства для термоиспытаний и разработки технологических процессов.
Применяется для отжига пластин и сухого окисления пластин. Оснащена кварцевым реактором и линией газоподачи с РРГ.
Центральная зона нагрева – цилиндрическая, боковые зоны – торцевые нагреватели.
Загрузочный и фланец вакуумной откачки водоохлаждаемые.
Технические характеристики:
- Рабочая температура: до 1150 °С;
- Отклонение температуры по длине рабочей зоны: ± 0,5 °С;
- Максимальный диаметр пластин: 100 мм;
- Длина рабочей зоны: 50 мм;
- Вместимость: 5 пластин;
- Количество зон нагрева: 3 шт.;
- Система загрузки лодочки с пластинами: Ручная;
- Количество реакторов: 1 шт.
Применение:
- мелкосерийное производство;
- научное лабораторное оборудование для термоиспытаний;
- разработка термических процессов.
Установка используется для опытного производства для термоиспытаний и разработки технологических процессов.
