Предназначена для высокотемпературного осаждения пленок на пластины.
Используется для мелкосерийного производства. Нагреватель 4-х зонный, каждая зона разделена на две секции: верхнюю и нижнюю.
Для ускоренного охлаждения реактора предусмотрена возможность открывания верхней секции нагревателя. Система нагрева обеспечивает как поддержание температуры с высокой степенью равномерности, так и задание её градиента по зонам.
Технические характеристики:
- Рабочая температура: до 1150 °С;
- Отклонение температуры по длине рабочей зоны: ± 1 °С;
- Максимальный диаметр пластин: 100 мм;
- Длина рабочей зоны: 150 мм;
- Вместимость: 15 пластин;
- Количество зон нагрева: 4 шт.;
- Система загрузки лодочки с пластинами: Ручная;
- Количество реакторов: 1 шт.
Предназначена для высокотемпературного осаждения пленок на пластины.
Используется для мелкосерийного производства.
