Установка термообработки пластин с 2 реакторами.
Применяется для осаждения поликристаллического кремния, оксидов, нитридов кремния.
Установка оснащена воодоохлаждаемыми фланцами, системой газоподачи с РРГ, прецизионной системой загрузки, даже на высоких температурах.
Универсальность конструкции под любой тип материала реактора (в зависимости от процесса). Простая система замены и очистки реактора и нагревателя.
Технические характеристики:
- Рабочая температура:
- при использовании кварцевых реакторов: до 1150 °С;
- при использовании реакторов и оснастки из SiC: до 1400 °С;
- Отклонение температуры по длине рабочей зоны: ± 1 °С;
- Максимальный диаметр пластин: 100-150 мм;
- Длинна рабочей зоны: 300 мм;
- Вместимость: 25 пластин;
- Количество зон нагрева: 3 шт.;
- Система загрузки лодочки с пластинами: Ручная/Автоматическая;
- Количество реакторов: 2 шт.
Установка термообработки пластин с 2 реакторами.
Применяется для осаждения поликристаллического кремния, оксидов, нитридов кремния.
