Установка U-RTD311 предназначена для резистивного осаждения алюминия и оксида кремния на поверхности деталей.
Установка колпакового типа и состоит из следующих узлов и блоков:
– вакуумная камера (колпак);
– система откачки камеры;
– система резистивного напыления;
– система охлаждения;
– система электропитания;
– система управления.
Все составные части Установки с колпаковой камерой расположены в едином прямоугольном каркасе с плоской верхней поверхностью.
Вакуумная камера представляет собой вертикальный цилиндр (колпак), подъем / опускание которого осуществляется пневмоприводом.
На внешней поверхности колпака два смотровых окна диаметром 100 мм. с автоматической заслонкой.
Внешние стенки камеры снабжены системой водоохлаждения.
Размеры рабочего пространства вакуумной камеры установки – диаметр 500 мм, высота 600 мм.
В вакуумной камере находится планетарная карусель.
Максимальная температура нагрева карусели – 350° С.
Температура наружной части камеры не превышает 30° С.
Остаточное давление в камере, при Т= 25°С в раб. зоне 1,3-10-4 Па.
Время достижения рабочего давления в камере 6,7-10-3 Па 30 мин.
Система резистивного напыления состоит из трёх молибденовых или вольфрамовых испарителей с тремя заслонками с пневмоприводом.
Максимальная мощность резистивного испарителя (РИ) – 1,5 кВт.
Точность стабилизации тока резистивного испарителя во всем диапазоне ±5.
Толщина наносимого покрытия контролируется кварцевым измерителем толщины.
Охлаждение установки осуществляется с помощью кулера с расходом 1000 л/ч. Подвод с кулера воды осуществляется через общий коллектор. Каждая линию охлаждения, заканчивающаяся на гидравлической панели снабжена импортным датчиком протока и запорным вентилем.
Система позволяет подключать к установке оборотную воду предприятия. Максимальный расход воды – 1,0 м3/ч.
Управление процессом осуществляется автоматически по заданной оператором программе либо в ручном режиме. Все режимы программы устанавливаются оператором в процессе подготовки к проведению технологического процесса.
Система управления
Система управления выполнена на базе промышленного логического контроллера Segnetics с модулями расширения, подключенными по внутренней высокоскоростной системной шине. Также установлен модуль универсального аналогового ввода ОВЕН, подключенный к контроллеру через Ethernet – коммутатор.
Система обеспечивает управление устройствами установки в ручном режиме (при помощи виджетов на сенсорном экране, в автоматическом режиме, или в полуавтоматическом режиме (по команде оператора), в том числе кнопками, расположенными под сенсорным дисплеем.
Предусмотрены операционные блокировки для корректной работы установки и аварийные блокировки для защиты систем и механизмов установки от повреждения, а также защиты жизни и здоровья персонала исходя из требований техники безопасности.
Система управления обеспечивает архивирование и возможность просмотра основных технологических параметров, обеспечивает создание хранение, редактирование, удаление технологических программ. Обеспечивает сигнализацию аварийного состояния установки.
Установка U-RTD311 предназначена для резистивного осаждения алюминия и оксида кремния на поверхности деталей.
