/ Планарные магнетроны

Планарные магнетроны

Устройства предназначены для нанесения тонких пленок различных материалов в вакууме. Принцип действия устройства основан на повышении плотности газового разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях.

Оставить заявку
Наименование Значение
Длина зоны эрозии, мм 200 — 800
Максимальная мощность, Вт 10 000

 

Максимальный ток, А 10

 

Напряжение, В 1000
Диапазон рабочих давлений, Па 0,01 — 10
Рабочий газ Ar, H₂, O₂