/ Установки опрессовки и проверки на герметичность SAVTECH LT-MS

Установки опрессовки и проверки на герметичность SAVTECH LT-MS

Установка оборудована двумя вакуумными камерами, в одной из которых происходит опрессовка микроэлектронных изделий пробным газом, а в другой происходит испытание опресованных изделий на герметичность масс-спектрометрическим методом.

 

Состав:

  • Масс-спектрометрический течеискатель;
  • Насос вакуумный спиральный;
  • Камера опрессовки изделий;
  • Испытательная вакуумная камера;
  • Система напуска пробного газа (гелия);
  • Система измерения и управления;
Оставить заявку

Параметр Значение
Остаточное давление 0,5 Па
Система управления Автоматическая
Максимальное избыточное давление в камере опрессовки 0,2 МПа
Система вакуумной откачки Сухой спиральный насос