Установки опрессовки и проверки на герметичность SAVTECH LT-MS
Установка оборудована двумя вакуумными камерами, в одной из которых происходит опрессовка микроэлектронных изделий пробным газом, а в другой происходит испытание опресованных изделий на герметичность масс-спектрометрическим методом.
Состав:
- Масс-спектрометрический течеискатель;
- Насос вакуумный спиральный;
- Камера опрессовки изделий;
- Испытательная вакуумная камера;
- Система напуска пробного газа (гелия);
- Система измерения и управления;
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Остаточное давление | 0,5 Па |
| Система управления | Автоматическая |
| Максимальное избыточное давление в камере опрессовки | 0,2 МПа |
| Система вакуумной откачки | Сухой спиральный насос |
