Предназначены для реализации высокоскоростного травления диэлектриков, кремния, полупроводниковых структур, металлов.
Установки серии AVI оборудованы подвижным, изолированным от камеры столиком, на котором размещаются подложки. Перемещение столика осуществляется в автоматическом режиме. Установка оснащена источником ионов с замкнутым дрейфом электронов и системой вакуумной откачки на основе сухого спирального и турбомолекулярного насосов. Управление осуществляется с персонального компьютера.