Установки терморезистивного напыления U-RTD
Серия установок SAVTECH U-RTD предназначены как для сегмента R&D, так и для нанесения покрытий на серийные изделия. Разработаны для замены устаревших установок УВН-71 и УВН-74, используемых в отлаженных технологических процессах. Установки оснащены современными комплектующими, средствами измерения и системой управления.
Установки предназначены для нанесения резистивных слоев и металлов на поверхности изделий и подложек из поликора или ситалла и обеспечивают небольшой разброс толщины напыленной пленки по загрузке.
Стандартные применения для серии установок U-RTD:
• нанесение проводящих и резистивных слоев;
• нанесения защитно-декоративных покрытий.
Система управления
Установка работает под управлением SCADA-системы, позволяющей управлять процессом как с экрана на передней панели установки, так и удаленно через защищенное VPN-соединение при наличии подключения к сети интернет.
Система обеспечивает разграничение прав доступа, сохранение всех технологических параметров в архив и их вывод в наглядном графическом представлении на экран установки.
| Наименование | Значение |
|---|---|
| Напряжение питания, В | 380 (+10-15)% |
| Предельный вакуум, Па | 5х10^-5 |
| Напыляемые изделия | Подложки из поликора и ситалла |
| Количество одновременно обрабатываемых подложек 48х60, шт | 20/40/60 |
| Время достижения предельного вакуума (С момента включения), мин | не более 40 |
| Максимальная температура нагрева, °С | 400 |
| Стабильность поддержания температуры, % | 3 |
| Количество каналов газонапуска, шт. | 3 (опционально 6) |
| Разброс толщины напыляемого покрытия по загрузке, % | ±5 |
| Нагреватель резистивный | наличие |
| Ионный источник для очистки изделий | Наличие |