Установка магнетронного напыления в вакууме предназначена для двустороннего нанесения равномерных по физическим свойствам покрытий из металлов и их сплавов, керметов (К-20С, К-30С, К-50С) на подложки, изготовленные из различных материалов (ситалл, керамика, кремний, кварцевое стекло и др.)
Установка магнетронного напыления серии НС-PVD-211 состоит из следующих узлов и блоков:
— вакуумная камера/колпак;
— система вакуумной откачки камеры;
— система ионной очистки;
— система магнетронного напыления;
— система охлаждения;
— система электропитания;
— система управления.
- Размер рабочей области: 500х600 мм;
- Диаметр смотрового окна: 95 мм;
- Карусель с механизмом переворота;
- Скорость вращения: настраиваемая от 5 до 30 об/мин;
- Максимальный объем загрузки: 76 подложек 48х60 мм;
- Установка температурного датчика свидетеля сопротивления в один из слотов на карусели
- Система вакуумной откачки на базе сухого форвакуумного и турбомолекулярного насосов;
- Предельный вакуум в камере: 5*10-7 мм. рт. ст.;
- Время достижения рабочего вакуума: не более 40 мин.;
- Количество магнетронов: 2 шт.;
- Количество ионных источников: 1 шт.
- Количество рабочих газов: 2 шт.;
- Система нагрева подложек: ИК-лампы;
- Максимальная температура нагрева: 420 °С;
Установка магнетронного напыления в вакууме предназначена для двустороннего нанесения равномерных по физическим свойствам покрытий из металлов и их сплавов, керметов (К-20С, К-30С, К-50С) на подложки, изготовленные из различных материалов (ситалл, керамика, кремний, кварцевое стекло и др.)
