Камера повышенно-пониженного давления и температуры SAVTECH APT200 (Термобарокамера) предназначена для испытания изделий микроэлектроники и материалов при воздействии повышенной и пониженной температуры, повышенного и пониженного атмосферного давления.
Технические характеристики
- Объем6 200 л;
- Диаметр камеры: 700 мм;
- Внутренние габариты зоны загрузки: 550х550х550 мм;
- Внешние габариты: 960х1880х1550 мм;
- Диапазон температур: -60…+200 °С;
- Точность задания температуры: ±1 °С;
- Максимальное рабочее повышенное давление: 2300 мм.рт.ст.;
- Максимальное рабочее пониженное давление: 1х10-6 мм.рт.ст.;
- Точность поддержания повышенного давления: ±5% ;
Система вакуумной откачки
- Турбомолекулярный высоковакуумный насос (ТМН), обеспечивающий достижение предельного вакуума;
- Спиральный вакуумный насос, обеспечивающий работу ТМН и форвакуумную откачку.
- Пластинчато-роторный сухой вакуумный насос.
Камера повышенно-пониженного давления и температуры SAVTECH APT200 предназначена для испытания изделий микроэлектроники и материалов при воздействии повышенной и пониженной температуры, повышенного и пониженного атмосферного давления.
