/ Установка вакуумного напыления U-RTD311

Установка U-RTD311 предназначена для резистивного осаждения алюминия и оксида кремния на поверхности деталей.

Установка колпакового типа и состоит из следующих узлов и блоков:

– вакуумная камера (колпак);

– система откачки камеры;

– система резистивного напыления;

– система охлаждения;

– система электропитания;

– система управления.

Все составные части Установки с колпаковой камерой расположены в едином прямоугольном каркасе с плоской верхней поверхностью.

Технические параметры:

 

Вакуумная камера представляет собой вертикальный цилиндр (колпак), подъем / опускание которого осуществляется пневмоприводом.

На внешней поверхности колпака два смотровых окна диаметром 100 мм. с автоматической заслонкой.

Внешние стенки камеры снабжены системой водоохлаждения.

Размеры рабочего пространства вакуумной камеры установки – диаметр 500 мм, высота 600 мм.

В вакуумной камере находится планетарная карусель.

Максимальная температура нагрева карусели – 350° С.

Температура наружной части камеры не превышает 30° С.

Остаточное давление в камере, при Т= 25°С в раб. зоне 1,3-10-4 Па.

Время достижения рабочего давления в камере 6,7-10-3 Па 30 мин.

Система резистивного осаждения

Система резистивного напыления состоит из трёх молибденовых или вольфрамовых испарителей с тремя заслонками с пневмоприводом.

Максимальная мощность резистивного испарителя (РИ) – 1,5 кВт.

Точность стабилизации тока резистивного испарителя во всем диапазоне ±5.

Толщина наносимого покрытия контролируется кварцевым измерителем толщины.

Система охлаждения

Охлаждение установки осуществляется с помощью кулера с расходом 1000 л/ч. Подвод с кулера воды осуществляется через общий коллектор. Каждая линию охлаждения, заканчивающаяся на гидравлической панели снабжена импортным датчиком протока и запорным вентилем.

Система позволяет подключать к установке оборотную воду предприятия. Максимальный расход воды – 1,0 м3/ч.

Управление процессом

Управление процессом осуществляется автоматически по заданной оператором программе либо в ручном режиме. Все режимы программы устанавливаются оператором в процессе подготовки к проведению технологического процесса.

Система управления

Отображение информации о ходе процесса выводится на монитор размером – 15” с сенсорным управлением.

Система автоматического управления нагревом осуществляется посредством микропроцессорного регулятора.

Управление в ручном режиме работы осуществляется с панели управления, функциональной клавиатуры и символьных дисплеев для ввода и отображения цифровых значений технологических параметров.

Управление вакуумной системой в автоматическом режиме реализовывается на базе программируемых контроллеров.

Выполнение технологического процесса в автоматическом режиме работы Установки обеспечивается согласованной работой двух контроллеров.

Запись и воспроизведение графика технологического процесса осуществляется с помощью специальной программы устанавливаемой на компьютер системы управления. Графики технологических процессов сохраняются без перезаписывания с начала эксплуатации Установки.

Установка U-RTD311 предназначена для резистивного осаждения алюминия и оксида кремния на поверхности деталей.