Установка вакуумного напыления для резистивного осаждения алюминия и оксида кремния U-RTD311
Установка U-RTD311 предназначена для резистивного осаждения алюминия и оксида кремния на поверхности деталей.
Установка колпакового типа и состоит из следующих узлов и блоков:
– вакуумная камера (колпак);
– система откачки камеры;
– система резистивного напыления;
– система охлаждения;
– система электропитания;
– система управления.
Все составные части Установки с колпаковой камерой расположены в едином прямоугольном каркасе с плоской верхней поверхностью.
Технические параметры:
Вакуумная камера представляет собой вертикальный цилиндр (колпак), подъем / опускание которого осуществляется пневмоприводом.
На внешней поверхности колпака два смотровых окна диаметром 100 мм. с автоматической заслонкой.
Внешние стенки камеры снабжены системой водоохлаждения.
Размеры рабочего пространства вакуумной камеры установки – диаметр 500 мм, высота 600 мм.
В вакуумной камере находится планетарная карусель.
Максимальная температура нагрева карусели – 350° С.
Температура наружной части камеры не превышает 30° С.
Остаточное давление в камере, при Т= 25°С в раб. зоне 1,3-10-4 Па.
Время достижения рабочего давления в камере 6,7-10-3 Па 30 мин.
Система резистивного осаждения
Система резистивного напыления состоит из трёх молибденовых или вольфрамовых испарителей с тремя заслонками с пневмоприводом.
Максимальная мощность резистивного испарителя (РИ) – 1,5 кВт.
Точность стабилизации тока резистивного испарителя во всем диапазоне ±5.
Толщина наносимого покрытия контролируется кварцевым измерителем толщины.
Система охлаждения.
Охлаждение установки осуществляется с помощью кулера с расходом 1000 л/ч. Подвод с кулера воды осуществляется через общий коллектор. Каждая линию охлаждения, заканчивающаяся на гидравлической панели снабжена импортным датчиком протока и запорным вентилем.
Система позволяет подключать к установке оборотную воду предприятия. Максимальный расход воды – 1,0 м3/ч.
Система управления.
Отображение информации о ходе процесса выводится на монитор размером – 15” с сенсорным управлением.
Система автоматического управления нагревом осуществляется посредством микропроцессорного регулятора.
Управление в ручном режиме работы осуществляется с панели управления, функциональной клавиатуры и символьных дисплеев для ввода и отображения цифровых значений технологических параметров.
Управление вакуумной системой в автоматическом режиме реализовывается на базе программируемых контроллеров.
Выполнение технологического процесса в автоматическом режиме работы Установки обеспечивается согласованной работой двух контроллеров.
Запись и воспроизведение графика технологического процесса осуществляется с помощью специальной программы устанавливаемой на компьютер системы управления. Графики технологических процессов сохраняются без перезаписывания с начала эксплуатации Установки.
Управление процессом.
Управление процессом осуществляется автоматически по заданной оператором программе либо в ручном режиме. Все режимы программы устанавливаются оператором в процессе подготовки к проведению технологического процесса.