Описание:
Установка с рабочей камерой размером 300х300х300 мм оборудована подвижным столиком, на котором размещаются подложки. Перемещение столика осуществляется в автоматическом режиме.
Установка оснащена источником ионов с замкнутым дрейфом электронов и системой вакуумной откачки на основе сухих спирального и турбомолекулярного насосов. Управление установкой осуществляется с рабочего места, оборудованного персональным компьютером.