Установки реактивного ионного травления AVI
Предназначены для реализации высокоскоростного травления диэлектриков, кремния, полупроводниковых структур, металлов.
Установки серии AVI оборудованы подвижным, изолированным от камеры столиком, на котором размещаются подложки. Перемещение столика осуществляется в автоматическом режиме. Установка оснащена источником ионов с замкнутым дрейфом электронов и системой вакуумной откачки на основе сухого спирального и турбомолекулярного насосов. Управление осуществляется с персонального компьютера.
| Наименование | Значение |
|---|---|
| Размеры пучка ионов, мм | 100-300х30х5 |
| Ток, А | 1 |
| Напряжение, В | 1000-3000 |
| Предельное давление, Па | 10^-3 |
| Газовые каналы, шт. | 2 (опционально до 6) |
| Система автоматической регулировки концентрации газовой смеси | Наличие |
| Загрузка пластин | Ручная |